1、9 kW转靶光源，Cu靶；
2、测角仪半径：300 mm，最小可控步长0.0001°；
3、大五轴样品台；
4、多维半导体面探测器，面积77.5 mm×38.5 mm；
5、微区测试系统，光斑大小φ0.1 mm；
6、αβ附件：极图织构测试；
7、In-Plane附件，可同时测面内扫描和面外扫描；
8、XRR软件，HRXRD软件，ODF软件。
适合纳米级薄膜样品测试，可进行面内、面外扫描和XRR反射率测试，摇摆曲线、倒易空间等单晶外延膜高分辨测试；配有大五轴样品台，可放置多个样品进行织构分析。
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