规格型号
存放地
仪器负责人
联系方式
1. Cu靶 9 kW；
2. 测角仪半径：300 mm;
3. 多维半导体面探测器：探测器面积：77.5 mm × 38.5 mm
4. 微区测试系统，XY-4英寸样品台（X,Y±50 mm）光斑直径0.1 mm；
5. 五轴样品台Standard χ cradle；
6. IN-PLANE附件：可以同时进行面外扫描（OUT of PLANE）及面内扫描（IN-PLANE）测试；
7. 空气敏感样品架、零背景样品架；
8. XRR 软件、HRXRD软件、ODF软件。
常规物相分析外，更适合纳米级薄膜样品测试，可进行面内、面外扫描和掠入射、二维测试、PHI扫描、XRR反射率测试，摇摆曲线、倒易空间等单晶外延膜高分辨测试；配有大五轴样品台，可放置多个样品进行织构分析。配有微区附件，可以进行微区物相分析。
1.粉末样品：研磨至<360目，手摸无颗粒感，约0.2克；
2.块状样品：测试面磨成平面，简单抛光，测试面大于10 mm×10 mm，高度＜10 mm；
注：特殊样品测试前联系老师
200元/小时，协助换光路和硬件加收100元/次
/
1. 常规测试 300元/小时；
2. GID、微区、XRR、Rocking Curve、2Theta/Omega扫描、Phi扫描、二维、RSM、织构、面内等测试，400元/小时。
1. 常规测试 500元/小时；
2. GID、微区、XRR、Rocking Curve、2Theta/Omega扫描、Phi扫描、二维、RSM、织构、面内等测试，600元/小时。
上一条：多功能X射线衍射仪 下一条：原位变温X射线衍射仪（预计2025.07运行）
【关闭】
