1. 电动扫描台：台面尺寸310 mm x220 mm，行程130 mm x 85 mm，最大移动速度25 mm/s，分辨率0.1 um；
2. 光学显微镜部分: 正立式反射全自动光学显微镜反射光；物镜： 5X、10X、20X、50X、100X；
3. 激光共聚焦部分：405 nm激光器，光纤端输出功率5mw；最高6144×6144，可连续调节。最大扫描分辨率3700万像素；
4. 软件分析系统：三维表面形貌软件模块：可获得三维表面形貌图及高度图（地形图），并增加多种测量功能（粗糙度、表面积、体积）；
5. 图像处理与报告编辑软件：图像处理，包括滤波，去噪等功能；粗糙度的测量需满足标准ISO 4287、ISO 25178等，并可以根据样品的粗糙度设置不同的cut-off值；自定义报告模板及编辑，客户可根据自己的需要设置自己的报告模板，并可自动的把新测量导入到该模板中实现批处理功能。 | 
