1. 水平扫描范围50 x 50 μm，垂直扫描范围4 μm
2. AFM-IR和s-SNOM波长范围950 – 3600 cm-1
3. 成像模式：
形貌：接触，轻敲；
光学：AFM-IR红外光谱（点谱）、化学成像，s-SNOM近场振幅、相位成像、光谱测量，空间分辨率10 nm。
用于样品表面化学成分、三维形貌、近场光学等特性的纳米级空间分辨率分析。在传统扫描探针显微镜的形貌成像能力基础上，通过共振增强AFM-IR和近场光学成像技术，克服传统红外光谱的光学衍射效应，实现纳米级空间分辨率的成分分析。近场光学模式还可对样品的介电性质分布和电磁本征模式进行成像。
广泛用于材料、生命、物理、化工、能源和环境等领域。
上一条：材料型原子力显微镜
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