1、冷场场发射电子枪；
2、二次电子分辨率0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；
3、优异的低电压高分辨成像能力；
4、配备TD顶探头，实现极表面高分辨成像；
5、配备大面积晶体能谱仪。
1、实现纳米级高分辨成像，尤其适用于不导电样品的低电压高分辨成像；
2、可实现样品高分辨极表面成像。
上一条：原位功能扫描电镜（预计2025.04运行） 下一条：三D原子探针（预计2025.04运行）
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