分析测试中心的聚焦离子束扫描电子显微镜（Helios 5 Hydra UX）开始试运行啦!
仪器放置地点：西部校区知远楼C104
仪器负责人：计璠、周雨萌、赵凯
联系方式：0411-84709167
邮箱：fji@dlut.edu.cn
送样方式：委托测试；大仪平台搜索：聚焦离子束扫描电子显微镜，选择送样预约，按要求填写样品信息，等待电话通知。
设备功能：
主要功能有TEM及APT高质量定点制样、高精度微纳加工等，实现无Ga注入样品制备，该设备具有的核心技术包括:提供多气体离子源，以实现无Ga注入的TEM制样，丰富测试样品种类，提升TEM及APT样品制备质量，加快制样速度，提高设备使用效率。具备 Xe、O、N、Ar 等离子体源；具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行C、W等金属的沉积；具有与主机同品牌的与主机软件集成一体化原位样品自动提出纳米机械手；配备原位冷冻台：控温范围+35 ℃ ~ -150 ℃；配备快速进样系统；具有EDS 和EBSD功能。
应用领域：
DualBeam仪器可实现大体积连续切片和随后纳米级的SEM成像，可用于样品的高质量三维重建；可制备用于(S)TEM分析的高质量、超薄样品；可制备用于APT表征的高质量、定向和特定样品。
性能指标：
1、电子束分辨率：
最佳工作距离下 1 kV：0.7 nm；
共焦点时15 kV：0.6 nm；
共焦点时1 kV：1.2 nm；
2、电子束参数：
加速电压范围：350 V ~ 30 kV；
电子束流范围：0.8 pA ~ 100 nA；
3、离子束参数：
加速电压范围：500 V ~ 30 kV；
离子束流范围：1.5 pA ~ 2.5 μA；
4、离子束分辨率：共焦点时30 kV：20 nm；
5、五轴联动台：
XY范围：110 mm；
Z范围：65 mm；
R旋转：360°；
T倾斜：-38°~ +90°；
6、能谱元素分析范围：Be4～Cf98；
7、配备EBSD（Symmetry S3），在线解析最高标定速度≥5700 pps。
样品要求：
固体、干燥、导电的样品。
收费标准：
| 实验项目 | 校内 | 社会服务 | 其他说明 |
| 送样预约 | 1000元/小时 | 4000元/样 |
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注：试运行期间（2025年4月15日-2025年7月15日）600元/时，试运行期后第一年执行8折优惠、第二年执行9折优惠，第三年恢复原价。
分析测试中心
2025年04月15日
