分析测试中心的聚焦离子束扫描-飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）联用仪 (Solaris)开始试运行啦!
试运行时间：2025.05.27~2025.08.27
仪器放置地点：西部校区知远楼C104
仪器负责人：万鹏、焦文娜、高晓霞
联系方式：0411-84709167
送样方式：仪器共享平台中搜索 “聚焦离子束扫描-飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）联用仪 (Solaris)”，委托测试：选择送样预约，按要求填写样品信息，等待电话通知；开放测试：培训后自行预约机时进行测试。
设备功能：
Tescan的Solaris肖特基(Schottky)型热场发射电子源，采用 TriLens 三物镜设计，可提供超高分辨模式，无漏磁分析模式和电子東无交叉模式，基本参数如下：二次电子像分辨率(SE) ≤ 0.6 nm(15 kV)，0.9 nm(1 kV)；背散射电子像分辨率(BSE) ≤ 1.6 nm(15 kV)；扫描透射分辨率(STEM) ≤ 0.5 nm(30 kV)。搭载了液态金属Ga离子源的离子镜筒，可实现透射电镜、APT样品制备等高精密微纳加工；配备TOF-SIMS检测器，可以实现高分辨微观形貌与高空间分辨率的深度剖析分析，尤其适用于Li, H等轻元素。搭载高性能EDS与EBSD，可实现EBSD定位下的定点切样，能谱大面积拼接等功能。
性能指标：
1、分辨率：SOLARIS
1）二次电子分辨率（SE）：15 kV≤ 0.6 nm, 1 kV≤ 0.9 nm；
2）背散射分辨率（BSE）：15 kV≤ 1.6 nm；
3）扫描透射分辨率（STEM）：30 kV≤ 0.5 nm。
2、飞行时间二次离子质谱仪：C - TOF
1）质谱分辨率≥ 800；
2）质谱检出限≤ 3 ppm；
3）水平分辨率：≤ 40 nm；
4）垂直分辨率：≤ 3 nm。
3、能谱仪：UltimMax170
1）分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积170 mm2，高分子超薄窗设计；
2）元素分析范围：Be4～Cf98；
3）探测器可软件控制自动伸缩；
4）配有3D功能。
4、电子背散射衍射仪：Symmetry S3
1）高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024；
2）在线解析最高标定速度≥ 5700 pps；
3）取向精度≥ 0.05度；
4）配有3D功能。
收费标准：
| 实验项目 | 校内 | 社会服务 | 其他说明 |
| 自主测试 | 560元/小时 | / |
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| 委托测试 | 800元/小时 | 4000元/样（TEM制样） |
注：试运行期间不接受自主测试，校内委托测试6折收费，试运行结束后，第一年8折，第二年9折，第三年恢复原价。
分析测试中心
2025年05月27日
