分析测试中心的双球差校正透射电子显微镜（Spectra Ultra）开始试运行啦!
试运行时间：2025.05.27~2025.12.31
仪器放置地点：西部校区知远楼C101
仪器负责人：谢红波、林华、高晓霞
联系方式：0411-84706995、0411-84706593
送样方式：仪器共享平台中搜索 “双球差校正透射电子显微镜”，预约送样测试，预约送样完成后等待电镜老师电话联系。
设备功能：
Spectra Ultra球差校正透射电镜是尖端材料与生命科学研究的旗舰设备，具备亚埃级（<0.5 Å）分辨率，可清晰解析原子排列、缺陷及轻元素分布。其新一代球差校正器与单色化电子枪协同提升成像对比度，适用于敏感材料（如分子筛、MOF/COF、二维材料、电池电极）的原子尺度表征。集成STEM-HAADF、EELS和EDS，实现成分、电子结构及化学键合的同步分析，而高速电子直读相机兼顾低剂量成像与动态观测。Spectra Ultra以超高分辨率、多模态分析和智能化操作，成为能源、半导体及纳米科技研究的理想工具。
性能指标：
1. 超亮电子枪和超级单色器,能量分辨率可以达到0.025 eV@60 kV，提供300 kV、200 kV、60 kV和30 kV四个加速电压下的光路和球差校正预合轴设置；
2. TEM信息分辨率≤60 pm@300 kV，<80 pm @200 kV，<100 pm @60 kV；
3. STEM扫描成像系统：STEM分辨率<50pm @300 kV，<70 pm @200 kV，<96 pm @60 kV，<136 pm @30 kV；
4. 配备HAADF 探头和轴向与径向 16 分割 Panther STEM探测器，可采集明场（BF）、环形明场（ABF）、环形暗场（ADF）、低角环形暗场（LAADF）、高角环形暗场（HAADF）以及 DPC和iDPC 信号。可同时采集4幅来自不同角度的电子信号，可在纳米束和微米束两种模式下进行 STEM 成像；
5. 具备差分相位衬度成像（DPC，iDPC）的探头及其配套数据采集和分析软件，可以在低束流的情况下对易损伤样品的轻重元素同时成像；
6. EDS能谱：配有固体角> 4.0 sr的EDS 能谱，元素分析范围:从B（5）- Am（95），能量分辨率<136>1500 kcps，峰背比>2500:1 @Ni K peak，能够实现极低束流下的原子级元素面分析观察，并能完成能谱三维重构分析；
7. 配备最新一代的电子能量损失谱仪系统，通过对不同能量损失的电子进行谱学分析，对材料的元素分布、化学价态、电子结构等信息进行表征。配备K3电子直读相机，能量分辨率≤0.1 eV，EDS与 EELS 高速同步，能够高速同步采集 EDS 能谱及 EELS 谱；
8. 样品台和样品杆：五轴增强型压电陶瓷样品台，可存储和复位五维（X，Y，Z，a，b）坐标，X/Y/Z 三个方向配有压电陶瓷控制器，样品移动范围:X/Y>1 mm，Z> 0.375 mm。配备Ultra-X样品杆2根，最大倾斜角度:35°(a)/30°(b)；
9. 相机：配备底部一体化安装的CMOS相机Ceta S，尺寸:4,096x4,096，像素>14 umx14 um，读取速度>40 fps@4kx4k，>300 fps @512x512，动态范围:16bit；
10. 三维重构：自动化数据收集系统和电子断层扫描技术，可自动采集 TEM、STEM、EDX 三维图像，最大倾转角度士70°，配备线下TEM、STEM、EDX 三维重构软件和数据处理系统；
11. 11. 其他功能：原位加热，自动三维重构，旋进电子衍射，4D-STEM。
收费标准：
| 实验项目 | 校内 | 社会服务 | 其他说明 |
| TEM+STEM+EDS模块 | 1800元/小时 | 3600元/小时 |
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| STEM+EELS模块 | 2400元/小时 | 4800元/小时 |
注：试运行期间（至2025年年底）校内用户享受6折优惠，试运行推广期结束后第一年8折，第二年9折，第三年恢复原价。
分析测试中心
2025年06月30日
