1. 工作电压:80 kV, 200 kV;
2. TEM点分辨率:0.23 nm,线分辨率0.10 nm;
3. STEM分辨率0.16 nm;
4. BEI分辨率:1 nm;
5. EDS 双能谱探头,支持EDS Mapping/Line/Point测试项目;能量分辨率:≤ 133 eV;元素分析范围:5B ~ 92U;
6. Gatan Oneview IS超快速CMOS相机;
7. 自动插入和拔出样品杆设置。
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