1. LEI、SEI及LABE探头;
2. 电子束分辨率:0.8 nm(15 kV),1.0 nm(1 kV);加速电压:0.1 ~ 30 kV;
3. 放大倍数:25 ~ 1,000,000倍;
4. 电子束束流:10 pA ≤ 束流 ≤ 200 nA;
5. EDS:牛津能谱仪;元素分析范围:5B ~ 92U;
6. 配备冷冻传输样品台,可在低温下对样品进行观测与分析。
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