1. 电子枪:X-FEG超亮热场+超级单色器,电子枪能量分辨率:0.025
eV,电子枪亮度:1.8×10^9 A/cm^2srad; 2. 配置物镜和聚光镜球差校正器; 3. TEM信息分辨率:60 pm @300 kV,80
pm @200 kV,100
pm @60 kV; 4. STEM分辨率:50
pm @300 kV,70
pm @200 kV,96
pm @60 kV; 5. STEM探测:HAADF+DF4+DF2+ABF/DPC/iDPC/OptiSTEM+新型16分割高灵敏度STEM探测; 6. EDS:Ultra X EDS 超级能谱仪,EDS固体角:4.04sr; 7. EELS:1069HR(1066能量损失谱和K3,FXUP相机),能量分辨率:0.1
eV; 8. 其他功能:原位加热,自动三维重构,旋进电子衍射,4D-STEM。 |