1. 电子枪种类：CFEG冷场； 2. 电子枪能量分辨率：0.35 eV； 3. 电子枪亮度：≥ 1×10^9 A/cm^2 srad； 4. 聚光镜球差校正，十二级子球差校正器； 5. STEM分辨率：53 pm @300 kV， 63 pm @200 kV ，96 pm @80 kV， 136 pm @40 kV； 6. STEM探测器：SAAF多分割全场探测器HAADF+DF+BF+ABF+SEI/BEI； 7. EDS：双探头 2×159 mm^2，EDS 固体角：1.41 sr（侧插）； 8. EELS：1065，能量分辨率优于0.3 eV； 9. 其他功能：力热电耦合原位，三维重构。 | 
