1. 提供四种快速可切换的离子种类:Xe、Ar、O、N; 2. 可采用 Xe、O 或 Ar 制备高质量的无 Ga注入TEM 和 APT 样品; 3. 配备AutoTEM 5 软件,可进行快速、简单、自动、多位点原位和非原位 TEM 样品制备以及横向切片; 4. 使用新一代 2.5 微安等离子体 FIB 镜筒进行最高通量和质量的统计学相关 3D 表征、横向切片和微加工; 5. 配备 Auto Slice View 4 软件,可提供高质量、多模态亚表面和 3D 信息,精确地瞄准目标区域; 6. 配备高电流 UC+ 单色器技术的一流 Elstar 电子镜筒,可以在低能量下实现亚纳米性能; 7. 配备 150 mm Piezo 载物台和腔内 Nav-Cam 相机,可根据个体应用需求定制精确的样品导航; 8.配备 MultiChem 气体输送系统,可获得在 DualBeam 系统上进行电子和离子束诱导的沉积及蚀刻的较高级功能; 9. 配备原位冷冻台,控温范围-150 ℃ ~ 35 ℃,可以实现冷冻切样; 10. 配备牛津最新的EDS(UltimMax170)和EBSD(Symmetry S3)技术。 |