1、电子束分辨率： 最佳工作距离下 1 kV：0.7 nm； 共焦点时15 kV：0.6 nm； 共焦点时1 kV：1.2 nm； 2、电子束参数： 加速电压范围：350 V ~ 30 kV； 电子束流范围：0.8 pA ~ 100 nA； 3、离子束参数： 加速电压范围：500 V ~ 30 kV； 离子束流范围：1.5 pA ~ 2.5 μA； 4、离子束分辨率：共焦点时30 kV：20 nm； 5、五轴联动台： XY范围：110 mm； Z范围：65 mm； R旋转：360°； T倾斜：-38°~ +90°； 6、能谱元素分析范围：Be4～Cf98； 7、配备EBSD（Symmetry S3），在线解析最高标定速度≥5700 pps。 | 
