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电镜分析平台

双束聚焦离子束显微镜(预计2025.04运行)

2023-08-19  点击:[]



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规格型号Helios 5 Hydra UX
存放地
仪器负责人谢红波、万鹏、周雨萌
电话0411-84706995、0411-84709167
预约网址
性能指标

1. 提供四种快速可切换的离子种类:XeArON

2. 可采用 Xe、O 或 Ar 制备高质量的无 Ga注入TEM 和 APT 样品;

3. 配备AutoTEM 5 软件,可进行快速、简单、自动、多位点原位和非原位 TEM 样品制备以及横向切片;

4. 使用新一代 2.5 微安等离子体 FIB 镜筒进行最高通量和质量的统计学相关 3D 表征、横向切片和微加工;

5. 配备 Auto Slice View 4 软件,可提供高质量、多模态亚表面和 3D 信息,精确地瞄准目标区域;

6. 配备高电流 UC+ 单色器技术的一流 Elstar 电子镜筒,可以在低能量下实现亚纳米性能;

7. 配备 150 mm Piezo 载物台和腔内 Nav-Cam 相机,可根据个体应用需求定制精确的样品导航;

8.配备 MultiChem 气体输送系统,可获得在 DualBeam 系统上进行电子和离子束诱导的沉积及蚀刻的较高级功能;

9. 配备原位冷冻台,控温范围-150 ℃ ~ 35 ℃,可以实现冷冻切样;

10. 配备牛津最新的EDS(UltimMax170)和EBSD(Symmetry S3)技术。

功能及应用

1. 具有EDS、EBSD等功能。适配球差电镜、常规透射电镜、三维原子探针的无Ga+注入、高质量定点制备;

2. 可实现多种类样品的高精度高质量制样;

3. 具备自动 TEM 样品制备功能;

4. 可实现三维重构,可实现冷冻切样。

样品要求


收费标准实验项目收费单位校内社会服务其他说明












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