1. 液态金属Ga离子源，束流≥ 100 nA，实现大面积快速加工；
2. 优良的离子束分辨率： < 2.5 nm @ 30 kV ；
3. 二次电子极限分辨率： 0.6 nm @15 kV，0.9 nm @1 kV；
4. 配备Tofwerk高分辨飞行时间二次离子质谱仪，质谱分辨率≥800，质谱检出限≤3 ppm；
5. 配备牛津最新的EDS（UltimMax170）和EBSD（Symmetry S3）技术。
1. 集扫描成像（SEM），二次离子质谱分析（TOF-SIMS），能谱分析（EDS），电子背散射衍射分析（ EBSD ）和离子束微纳加工与一体。可进行固体材料的微纳米级加工，制备高质量透射电镜样品；
2. 可实现包括Li、H等元素在内的多元素高空间分辨率分布分析，检测限可达ppm级。
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