1、分辨率：SOLARIS 1）二次电子分辨率（SE）：15 kV: ≤ 0.6 nm, 1 kV: ≤ 0.9 nm； 2）背散射分辨率（BSE）：15 kV≤ 1.6 nm； 3）扫描透射分辨率（STEM）：30 kV≤ 0.5 nm。 2、飞行时间二次离子质谱仪：C - TOF 1）质谱分辨率≥ 800； 2）质谱检出限≤ 3 ppm； 3）水平分辨率：≤ 40 nm； 4）垂直分辨率：≤ 3 nm。 3、能谱仪：UltimMax170 1）分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积170 mm2，高分子超薄窗设计； 2）元素分析范围：Be4～Cf98； 3）探测器可软件控制自动伸缩； 4）配有3D功能。 4、电子背散射衍射仪：Symmetry S3 1）高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024； 2）在线解析最高标定速度≥ 5700 pps； 3）取向精度≥ 0.05度； 4）配有3D功能。 | 
