三维原子探针

联系方式

1. 三级真空舱室：换样室<1×10-7 Torr， 贮样室<1×10-8 Torr，分析室<1×10-10 Torr；

2. 样品离子化系统

  电压模式：

  局部电极：电极孔径30~60 mm，电极孔径圆度<5 mm，电极孔壁厚<10 mm；

  最高直流高压15 kV，最高脉冲高压2350 V；

  激光模式：

  最高激光脉冲频率400 kHz；

  紫外激光波长257.5 nm，最细焦斑<3 mm；

  脉冲电压+脉冲激光模式：

  同时施加电压脉冲和激光脉冲使得样品再较低的直流电压下蒸发，降低背景噪音，提高灵敏度。

3. 检测系统

   采用用于能量补偿的大角反射镜，实现时间和位置的双聚焦；飞行时间质谱仪：飞行轨迹长度382 mm；质量分辨率(铝标样@50 K)：半高宽1：1000，十分之一高宽1：475，百分之一高宽1：275；延迟线探测器阳极数目：3组；最大数据收集速率：4×106 ions/min；最大视场：250 nm。

三维原子探针技术是目前唯一能在原子尺度(深度方向分辨率约0.1-0.3 nm，横向分辨率约0.3-0.5 nm)同时实现三维成像和化学成分分析的材料表征技术。在质量分辨率、数据采集速率、视场、响应时间、超高真空的技术条件下保证测量结果具有成分和同位素分布的精确性以及超高的空间分辨率。自问世以来，该技术为材料科学领域带来了重大突破。极细的针尖状样品在25-50 K的低温环境下，被施加3-15 kV的直流高压。针尖的极小曲率半径与高压共同作用，在表面产生高达10 V/nm 量级的强电场。通过激光或高压脉冲触发场致蒸发效应(电离率接近100%)，表面原子被逐层剥离并以离子形态投射至位敏探测器，其检测效率高达52%，最终在原子尺度重构材料的三维结构。

1.试运行期期间（2025年4月15日-2025年7月15日）6折，试运行后第一年8折，第二年9折，第三年恢复原价（不包含制样与数据分析）；

2.数据分析1000元/样。