1、X射线源：Al/Ag双阳极；
2、最佳电子能谱能量分辨（Ag 3d5/2）：优于0.43eV；
3、最佳化学状态成像空间分辨（快速平行成像，锐利刀口）：优于1μm；
4、常规XPS分析（Ag 3d5/2）：0.6eV@2.5Mcps；
5.、深度剖析离子源：多模式Ar/Ar团簇，最高加速电压20kV，最大团簇3000Ar；
6、附件: 紫外光电子能谱；离子散射谱套件；俄歇电子能谱；真空样品转移仓；高温催化反应池；加热制冷附件。
1、可对有机高分子材料、金属材料、无机化合物和复合材料以及其他固体材料的表面10nm深度范围内进行元素及其化学状态、价带电子态分析；
2、结合离子刻蚀技术可实现表面元素及其化学状态的纵深方向分布分析；
3、具备光电子平行成像功能，可实现表面元素及其化学状态的二维分布分析。
1、样品高度小于5 mm，大小5*5 mm，表面平整、干净；
2、样品要求真空干燥，不能具有腐蚀性、挥发性、磁性、放射性、化学毒性或生物毒性（不带磁性的磁性材料可以测试，或去磁后的磁性样品可以测试，但必须提前告知），样品在真空中释放的气体不能具有腐蚀性；
3、样品是否导电需提前告知；
4、样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统。
1、常规XPS谱图测试（包括宽扫和窄扫），其中窄扫除C1s外可以最多测试4种元素，额外每增加一种元素增加50元；
2、低温XPS需要自行准备液氮；
3、原位催化反应需要自行准备反应气；
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