1、电子枪种类：X-FEG超亮热场+超级单色器； 2、电子枪能量分辨率：0.025 eV； 3、电子枪亮度：1.8×109 A/cm2 srad； 4、极靴尺寸：5.4 mm； 5、STEM分辨率：50 pm @300 kV，96 pm @80 kV； 6、STEM探测器：HAADF+DF4+DF2+ABF/DPC/iDPC/OptiSTEM+新型16分割高灵敏度STEM探测； 7、EDX：Ultra X EDS 超级能谱仪； 8、EDX 固体角：4.04 sr； 9、EELS：1069； 10、样品杆：加热杆（赛默飞）； 11、其他：强大的氢元素探测能力Be@110 eV ; Si L@90 eV。 |
