1、离子源：Xe源（另配有Ar, O, N源）；
2、二次电子分辨率：< 0.7 nm @ 1 kV，交差点时< 1.2 nm @ 1 kV；
3、配备AutoTEM 5、AutoSlice and View 4 三维软件、CryoMAT 冷冻样品台、大面积晶体能谱与高速EBSD。
1、具有EDS、EBSD等功能。适配球差电镜、常规透射电镜、三维原子探针的无Ga+注入、高质量定点制备。
2、可实现多种类样品的高精度高质量制样；
3、具备自动 TEM 样品制备功能；
4、可实现三维重构，可实现冷冻切样。
上一条：材料型冷冻透射电镜（预计2025.04运行） 下一条：FIB+TOF-SIMS 联用仪（预计2025.04运行）
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