1、束流可达100nA，实现大面积快速加工；
2、优良的离子束分辨率： < 2.5 nm @ 30 kV ；
3、二次电子极限分辨率： 0.6 nm @15 kV，0.9 nm @1 kV；
4、配备Tofwerk高分辨飞行时间二次离子质谱仪，质谱检出限<5 ppm；
5、配备大面积晶体能谱与高速EBSD。
1、可进行微纳米级加工，制备高质量透射电镜样品；
2、可实现包括Li，H等元素在内的多元素高空间分辨率分布分析，检测限可达ppm级。
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