1. 分辨率： 高真空：<1.0 nm @30 kV，SE；<3 nm @1 kV，SE； 低真空：<1.3 nm @30 kV，SE；<3 nm @1 kV，SE； 2. 加速电压范围：20 V～30 kV； 3. 放大倍数范围：1x～2,500,000x； 4. 样品室真空度： 高真空模式下优于6×10-4Pa； 低真空模式下10 Pa ～200 Pa； 环境真空模式下10 Pa ～ 4000 Pa； 5. 能谱元素分析范围：Be4～Cf98； 6. EBSD在线解析最高标定速度≥5700 pps，配有高温磷屏； 7. 原位帕尔贴冷台：温度范围：-50℃至100℃，变温速度：20℃/min，温度精确性：±1℃； 8. 原位力学台： 最大载荷：5000 N，载荷分辨率：1 N； 速度：0.1 µm/s到20 µm/s，行程：45 mm，位移分辨率：100 nm； 典型试样尺寸：长度50至60 mm，宽度最大10 mm，厚度最厚5 mm； 最高加热温度：1200℃。 | 
