1. SEI分辨率：1.0 nm @30 kV （高真空） ；1.3 nm @30 kV（环扫模式） ；
2. BSE分辨率：2.5 nm @30 kV； 3. 加速电压：0.2 kV ~ 30 kV ； 4. 配备环扫功能，环扫模式下最大压力可达4000 Pa； 5. EDS：牛津UltimMax40，元素分析范围：4 Be ~ 98 Cf； 6. 高速EBSD：牛津Symmetry S3，最高标定速度≥ 5700 pps；取向精度≤ 0.05度； 7. 配备原位力学拉伸-压缩台，最大载荷 5 kN；原位测试温度区间： -50 ℃ ~ 1200 ℃。 | 
