1. 分辨率：
SE分辨率 15 kV：0.6 nm（工作距离4 mm）；
SE分辨率 1 kV：0.7 nm（工作距离1.5 mm）；
2. 加速电压范围：500 V～30 kV；
3. 放大倍数范围：1x～2,500,000x；
4. 能谱元素分析范围：Be4～Cf98；
5. EBSD在线解析最高标定速度≥5700 pps。
超高分辨冷场场发射扫描电子显微镜，可轻松实现各类固体样品表面的超高分辨微观结构表征，并配备有快速EBSD与能谱仪，可进行微区成分进行定性和半定量分析，获得样品晶体取向、相分析、织构分析等多种晶体学信息。
固体、干燥的样品，块状样品可切割。
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