1. 搭载原位拉曼组件的场发射扫描电镜，实现光电联用表征； 2. SEI分辨率：0.9 nm@15 kV ；1.2 nm@1 kV ； 3. BSE分辨率：2.0 nm@30 kV； 4. 加速电压：0.05 kV ~ 30 kV ； 5. 最大样品尺寸：≥ 160 mm (直径)； 6. 配备WITec alpha 300R共聚焦显微拉曼系统(RISE)，可以实现电镜内共聚焦拉曼二维和三维成像； 7. 拉曼成像空间分辨率：XY方向≤ 500 nm，Z方向≤ 1500 nm； 8. 配备能谱仪（牛津UltimMax65），元素分析范围：4 Be ~ 98 Cf。 | 
